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一、ACU20FD 高精度氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM 產品概述：
◆精度更高，響應更快，帶網口；
◆管狀分流，不易堵塞；
◆適用于各種低壓和高壓管道；
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高；
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；
◆數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協議可選；
二、產品應用：
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金
環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統
三、ACU20FD 高精度氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM 產品參數：
| 滿量程范圍 | 2SCCM～6000SLM |
| 準 確 度 | ±0.5%F.S |
| 線 性 | ±0.5%F.S |
| 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 響應時間 | 流量計：＜0.1s；流量控制器：<0.2s |
| 數 字 量 | RS232/485，MODBUS等協議 |
| 模 擬 量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供 電 | ±15VDC，24VDC，220V（轉接） |
| 工作溫度 | 0～60℃ |
| 工作壓降 | <0.01Mpa（流量計） |
| 工作壓差 | 0.002~0.5Mpa （流量控制器） |
| 耐 壓 | 3MPa/10MPa |
| 漏 率 | 1×10-9SCCSHe |
| 溫度系數 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材質 | 不銹鋼 |
| 密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM等 |
| 接 頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等 |
如果所需性能要求與上述性能不同，請溝通定制。
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